【 KOBELCO 】エネルギーソリューションメールマガジン Vol.26 ヒートポンプの半導体工場への導入事例をご紹介!脱炭素に向けた取り組みの参考に是非ご覧ください!
2023/03/17 (Fri) 17:00
XXXX様
本メールは弊社及びグループ会社と名刺交換していただいたお客様、過去、弊社にお問い合わせいただいたお客様にお役立ち情報をご提供するためにお送りしております。
==≪目次≫==========================================================
ヒートポンプの半導体工場への導入事例をご紹介!脱炭素に向けた取り組みの参考に是非ご覧ください!
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◆純水加熱工程へのヒートポンプ導入でエネルギー利用の効率化を実現
温排水からの熱を回収することでヒートポンプを活用。排熱回収により生成した温水は半導体の洗浄に利用する純水(半導体基板洗浄水)の加熱に利用し、加熱源をボイラーからヒートポンプに変えることでエネルギーの効率化を実現。
詳しい事例はこちらから!
https://kobelco-production.s3.ap-northeast-1.amazonaws.com/s3fs-public/2022-06/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E5%B7%A5%E5%A0%B4%E3%81%AE%E6%B4%97%E6%B5%84%E7%94%A8%E6%B8%A9%E6%B0%B4%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%B8%E3%81%AE%E5%B0%8E%E5%85%A5%E4%BE%8B20220512.pdf
◆クリーンルーム空調への冷温水利用で78%のランニングコスト削減
一般的にクリーンルーム空調では温湿度調整をするために必要な冷温水をボイラーとチラーを組み合わせて利用するが、この冷温水製造をヒートポンプにて行うことで効率的なエネルギー利用を実現。
詳しい事例はこちらから!
https://kobelco-production.s3.ap-northeast-1.amazonaws.com/s3fs-public/2021-10/case-study_a_211018_2.pdf
───────────────────────────────────────
《お問い合わせ窓口》
・スクリュ冷凍機
https://kobelco-compressors.com/jp/ja-jp/contact-us-japan
・超高効率インバータヒートポンプチラー
https://kobelco-compressors.com/jp/ja-jp/contact-us-japan
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◆純水加熱工程へのヒートポンプ導入でエネルギー利用の効率化を実現
温排水からの熱を回収することでヒートポンプを活用。排熱回収により生成した温水は半導体の洗浄に利用する純水(半導体基板洗浄水)の加熱に利用し、加熱源をボイラーからヒートポンプに変えることでエネルギーの効率化を実現。
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◆クリーンルーム空調への冷温水利用で78%のランニングコスト削減
一般的にクリーンルーム空調では温湿度調整をするために必要な冷温水をボイラーとチラーを組み合わせて利用するが、この冷温水製造をヒートポンプにて行うことで効率的なエネルギー利用を実現。
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